Kompaktsputteranlage MeCoSput
Kompaktsputteranlage MeCoSput Die MeCoSput ist eine Sputterquelle bei der aus einem DC Glow Plasma bei Atmosphärendruck Ionen auf einen Metalldraht beschleunigt werden. Die Ionen tragen Metallatome vom zentralen Target-Draht ab, welche sich durch einen Prozessgasstrom aus Helium und Argon auf dem Werkstück abscheiden und dadurch eine Schicht bilden. Die MeCoSput bietet durch ihre kompakte Bauform ein handliches und sehr flexibles Instrument, um diese neue Technologie leicht in viele Prozesse zu integrieren. Durch eine Wasserkühlung wird die Wärme aus der Quelle abgeführt und stellt so eine niedrige Anlagentemperatur sicher, auch wenn mehrere Quellen gleichzeitig betrieben werden. Flexibel und Innovativ Die MeCoSput ist eine vielseitige Kompaktanlage, welche für etliche Sputteranwendungen eingesetzt werden kann.Sie kann statisch oder beweglich in eine Druckanlage integriert werden…
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