Das BEAPLAS-Metallisierungsverfahren verwendet die Kathodenzerstäubung (Sputtern) bei Atmosphärendruck. Die Arbeiten zur Entwicklung dieses Verfahrens wurden vor mehreren Jahren am Ferdinand-Braun-Institut in Berlin begonnen und im Rahmen eines Spin-off durch BEAPLAS in die industrielle Anwendung überführt. BEAPLAS ist derzeit der weltweit einzige Anbieter dieses atmosphärischen Beschichtungsverfahrens.

Funktionsprinzip

Ein Beschichtungskopf enthält ein drahtförmiges Target aus dem Beschichtungsmaterial. Dieses besteht zum Beispiel aus Gold, Platin oder Palladium. Es wird ein Arbeitsgas zugeführt und eine elektrische Spannung angelegt. An der Spitze des Targetdrahtes wird dadurch eine elektrische Entladung, ein Plasma, gezündet. Aus diesem Plasma wird ein Ionenstrahl extrahiert, der das Targetmaterial abträgt (verdampft). Dieses Material schlägt sich auf dem Werkstück nieder und bildet dort die gewünschte Schicht.    

Anwendungen

• Kontaktbeschichtung
• REM Probenpräparation
• Hybride 3D Strukturen

Weitere Informationen

• Datenblatt

• 18.03.2015 ak-adp, Jena

• Sputtern an Atmosphärendruck

• Galvanotechnik 11/2015, Eugen G. Leutze Verlag, pp. 2268-2273
• Jan Bickel, Martin Krellmann, Roland Gesche, Reinhold Kovacs, Joachim Scherer
  Sputtern an Atmosphärendruck